Апрель 15th, 2013
анализа, а также тщательная подготовкапроб к анализу. Проба (желательно в виде цилиндрадиаметром до 20...35 мм) должнаиметь одну плоскую поверхность, не иметьдефектов на поверхности и на глубине до 4…5 мм. Плоскую поверхность твердых проб получаютмеханической обработкой, параметршероховатости подготовленной поверхностиR a < 1,25 мкм. В некоторых случаях (металлическийлист) не требуется специальная подготовкаплоской поверхности. Порошкообразныепробы могут быть спрессованы в специальныхформах. Жидкие образцы вливают в маленькиеконтейнеры, имеющие окно из полимернойпленки.1.1.3.4. МИКРОРЕНТГЕНОСПЕКТРАЛЬНЫЙАНАЛИЗМикрорентгеноспектральный анализ позволяетопределять качественный и количественныйэлементный состав области на поверхностиобразца объемом около 1 мкм3. В своейоснове это рснтгеноспектральный анализ сэмиссионным возбуждением характеристическогорентгеновского излучения (РИ) атомовэлементов в объеме образца, облучаемом электронамизонда с энергией 5…50 кэВ. ВозбужденноеРИ анализируется с помощью рентгеновскихспектрометров по длинам волн илиэнергиям рентгеновских квантов, позволяяопределить, какие химические элементы присутствуютв анализируемом объеме. По относительнойинтенсивности аналитической линиирентгеновского спектра определенногоэлемента (наиболее яркая линия спектра) измеряютконцентрацию этого элемента в облучаемомобъеме.Анализ проводят на микрорентгеноспск-тральном анализаторе (МАР), электронно-зон-довом анализаторе или на микрозондс. МАРпозволяет анализировать элементы от бериллияпозволяет анализировать элементы от бериллия