Апрель 15th, 2013
• электронно-оптической системы дляполучения на образце сфокусированного пучкаэлектронов диаметром от 0,005 до 1 мкм сэнергией, варьируемой оператором от 5 до50 кэВ*;*Эта часть практически одинакова для МАР ирастрового электронного микроскопа (РЭМ). Поэтомусовременные приборы могут работать как МАР икак РЭМ с возможностью получать изображение вРИ (см. рис. 1.1.2).ФИЗИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ 23• одного или нескольких рентгеновскихспектрометров для анализа возбужденногоРИ по длинам волн или энергиям рентгеновскихквантов и измерения интенсивностиопределенной спектральной линии;• светового микроскопа с увеличениемх300…450 для выбора анализируемого участкана образце.Электронно-оптическая система и спектрометрыработают в вакууме при давлении неболее 0,1 и 1 Па соответственно, чтобы предотвратитьпоглощение электронов и рентгеновскихлучей воздухом.Для получения зонда малого диаметраобъективная линза и апертурная диафрагмадолжны располагаться близко от образца.С целью увеличения регистрируемой интенсивностирентгеновского излучения угол егоотбора в спектрометр (угол выхода) долженбыть не менее 15°, иначе поглощение рентгеновскогоизлучения в поверхностном слоеобразца будет чрезмерно велико. Кроме того,оптическая ось объектива светового микроскопадолжна быть перпендикулярна поверхностиобразца. Конструктивно перечисленныевыше требования могут выполняться по-разному. Один из вариантов показан нарис. 1.1.2.Длиннофокусный объектив световогомикроскопа (т.е. малое увеличение) позволяетвизуально наблюдать катодолюминесценцию.визуально наблюдать катодолюминесценцию.
