Апрель 15th, 2013
приближается к световой микроскопии,хотя первые промышленно изготовленныерастровые электронные микроскопы появилисьтолько в 60-е годы XX в.Принцип работы растрового электронногомикроскопа (РЭМ) . РЭМ имеетэлектронно-оптическую систему, состоящую,как и в просвечивающем электронном микроскопе(ПЭМ), из электронной пушки и несколькихэлектромагнитных линз. Однако назначениеэтой системы, в отличие от ПЭМ,состоит в том, чтобы сформировать и сфокусироватьна поверхности образца стабильныйво времени ускоренный с помощью варьируемогонапряжения 1…50 кВ пучок электронов(зонд) диаметром 5… 10 нм.При взаимодействии электронов зонда собразцом возникают ответные сигналы разногорода, например, вторичные электроны (ВЭ),»отраженные» электроны (ОЭ), Оже-элсктро-ны, характеристическое рентгеновское излучение(РИ) (рис. 1.2.33), которые содержат ин-Растр — это совокупность близко расположенныхпараллельных отрезков, покрывающих определеннуюплощадь, что объясняет название прибор а — РЭМ.формацию об особенностях облучаемой «точки»объекта. Размер этой «точки», а точнееобласти, определяется видом ответного сигнала,регистрируемого соответствующим детектором(рис. 1.2.34).Для получения изображения в определенномсигнале зонд с помощью генераторасканирования «обегает» заданный участок образцапо принципу телевизионной построчнойразвертки, а соответствующий детектор улавливаетответный сигнал. Синхронно с разверткойзонда происходит перемещение электронноголуча на экране электронно-лучевой (телевизионной)трубки (ЭЛТ), управляемое тем жетрубки (ЭЛТ), управляемое тем же
