Апрель 15th, 2013
генератором сканирования. Таким образом,точка экрана ЭЛТ соответствует определеннойточке площади, обегаемой зондом на объекте.Яркость свечения ЭЛТ в каждой точкемодулируется усиленным сигналом детектора.Таким образом, на экране ЭЛТ точка за точкойсоздается (в определенном ответном сигнале)изображение сканируемой площади объекта слинейным увеличением М = UL, где / — сторонаквадратной развертки на образце; L — сторонаразвертки на экране ЭЛТ (обычно/, = 100 мм).Увеличение изображения просто и плавноварьируется в очень широких пределах(20… 100ООО раз) при изменении /. Однакопредельное полезное увеличение Мпред определяетсяразрешением d , которое зависит отвида сигнала, используемого для полученияизображения, и объекта (Мпред = d T/ d , гдеd T = 0,2 мм — разрешение нормального глазачеловека) и составляет порядка 104, 103 и 102для изображений соответственно в ВЭ, в ОЭ ивРИ.При любом виде сигнала характернойдля РЭМ является чрезвычайно большаяглубина фокуса (примерно равная размеру1Рис. 1.2.33. Ответные сигналы,используемые для формирования изображенияв РЭМ:1 — электронный зонд; 2 — образец; 3 — ОЭ; 4 — ВЭ;5 — «поглощенные» электроны (ток образца); 6 — РИ;7 — Оже-электроны66 Глава 1.2. МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫРис. 1.2.34. Области генерации в образцеответных сигналов, используемых дляформирования изображения в РЭМ:1 — электронный зонд; 2 — поверхность объекта;3 — Оже-электроны; 4 — ВЭ (разрешение примерноравно диаметру зонда); 5 — ОЭ (разрешение около10 диаметров зонда); 6 — РИ10 диаметров зонда); 6 — РИ
