Апрель 15th, 2013
(разрешение 0,5... 1 мкм)изображаемого участка образца и в 103…104раз превышающая глубину фокуса в световоммикроскопе) вследствие очень малойапертуры.Конструкция РЭМ. Принципиальнаясхема РЭМ приведена на рис. 1.2.35. Электронно-оптическая система, состоящая изэлектронной пушки, электромагнитных линз иограничивающих диафрагм, формирует наобразце пучок быстрых электронов — зонддиаметром до 5 нм. Отклоняющие катушки,управляемые генератором сканирования, заставляютэтот зонд построчно сканироватьопределенную площадь поверхности образца.Ответный сигнал улавливается детектором иусиливается. Специальный блок генераторасканирования управляет увеличением, изменяяотношение амплитуд напряжения разверткилуча в ЭЛТ и зонда по образцу. Обычно микроструктурунаблюдают при увеличении до20 ООО раз, а большее увеличение применяют дляюстировки электронно-оптической системы.При сканировании (число строк в кадресоставляет 500… 1000) применяют быструю(как в телевизионных системах) и медленнуюразвертку. В последнем случае ЭЛТ для визуальногонаблюдения должна обладать длительнымпослесвечением в отличие от ЭЛТдля фотографирования. Время сканированияизменяется от нескольких секунд (при визуальномнаблюдении) до минут (при фотографировании).Электроны, идущие от образца, улавливаютсядетектором Эверхарта-Торнли, рис. 1.2.36,в котором между сеткой с переменным потенциалом-100…+400 В и сцинтиллятором (потенциал+ 12 кВ) создано электростатическоеполе. Основная часть детектора — сцинтиллятор,генерирующий вспышки света при попаданиигенерирующий вспышки света при попадании
