Апрель 15th, 2013
на него электронов с энергией 10 кэВРис. 1.2.35. Принципиальная схема РЭМ:1 — колонна РЭМ; 2 — катод; 3 — фокусирующийэлектрод; 4 — анод; 5 — ограничивающая диафрагма;6 — первая конденсорная линза; 7 — втораяконденсорная линза; 8 — отклоняющие катушки;9 — объективная линза; 10 — объективная(апертурная) диафрагма; 11 — детектор электронов;12 — образец; 13 — рентгеновский спектрометр;14 — измеритель силы тока образца; 15 — вакуумнаясистема; 1 6 — усилитель сигналов; 1 7 — ЭЛТ;18 — генератор сканирования; 1 9 — устройствоизменения увеличенияРис. 1.2.36. Схема детектора электроновЭверхарта-Т орнл и:1 — электронный зонд; 2 — образец; 3 — траекторияОЭ; 4 — траектория ВЭ и Оже-электронов; 5 — сетка;6 — металлический стакан; 7 — сцинтиллятор;8 — световод; 9 — фотоэлектронный умножительРАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ 67и болсс. Электроны с меньшей энергией разгоняютсяполем «сетка — сцинтиллятор» и такжевызывают свечение в сцинтилляторе. Вспышкиот сцинтиллятора по световоду попадают вфотоэлектронный умножитель, в котором онипреобразуются в импульсы напряжения.Исследуемый образец (диаметром до25 мм и толщиной до 10 мм) располагается вспециальной камере вакуумированной колонныРЭМ (давление 0,1…0,01 Па) и может перемещатьсяоператором в плоскости, нормальнойк зонду (оси X и У), вдоль зонда (ось Z),наклоняться до 90° и поворачиваться на 360° вплоскости XY. Размеры камеры образцов позволяютразместить там специальные устройствадля различных воздействий на образец:механического нагружения, нагрева — охлаждения,механического нагружения, нагрева — охлаждения,
