Апрель 15th, 2013
поверхности. Наибольшее число электроноввыходит из области выступов, наименьшее -из впадин. Поэтому выступы на изображенииоказываются светлее впадин.Существует аналогия между контрастомрассматриваемого изображения в РЭМ и закономерностямивосприятия светооптическогоизображения глазом. В обоих случаях яркостьучастка изображения определяется в основномлокальным наклоном падающего пучка (электроновили света) к поверхности объекта.Этим и объясняется та легкость, с которой глазпочти автоматически воспринимает изображениерельефа поверхности в ВЭ как трехмерное.При подаче на сетку детектора электронов(см. рис. 1.2.36) положительного потенциала100…300 В ВЭ движутся от образца посильно искривленным траекториям, а ОЭ(энергия примерно в 1000 раз выше) не отклоняютсятаким слабым полем и движутся прямолинейно.Следовательно, тс участки поверхности,которые нельзя соединить с детекторомпрямой линией, можно наблюдать тольков ВЭ. Однако ОЭ также вносят небольшойвклад в изображение рельефа поверхности,создавая на изображении тени от выступов.Разрешение на изображении в ВЭ, как отмечалось,близко к размеру зонда и составляет 5…10 нм.К онтраст изображения в ОЭ. Коэффициент»отражения» (рассеяния назад) быстрыхэлектронов зависит от среднего атомного номераоблучаемого объема образца (рис. 1.2.37).Таким образом, контраст изображения в ОЭопределяется как рельефом поверхности, так иразличием в химическом (элементном) составеобласти, активируемой зондом. Так как размерРис. 1.2.37. Зависимость коэффициентаРис. 1.2.37. Зависимость коэффициента
