Апрель 15th, 2013
Отражения» электронов г\ от атомного номераэлемента Z68 Глава 1.2. МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫэтой области на порядок больше размера зонда,разрешение изображения в ОЭ составляетоколо 50... 100 нм.Для выявления химической неоднородностиследует использовать полированныйшлиф, а на сетку детектора электронов подаватьотрицательный потенциал (-100 В), чтобыпредотвратить попадание в детектор низкоэнергетическихВЭ. Если приготовить полированнуюповерхность нельзя (например, приисследовании изломов), то для разделенияхимического и топографического контрастаиспользуют парный детектор электронов: дваидентичных детектора располагают симметричнонад образцом по разные стороны зонда.Сигналы, вызванные химическим контрастом,одинаковы в обоих детекторах, а топографическим- противоположны, так как детекторы»видят» поверхность с разных сторон. Суммированиесигналов детекторов увеличивает химическийконтраст и резко уменьшает топографический,а вычитание их, наоборот, — подавляетхимический и усиливает топографическийконтраст, если яркость свечения ЭЛТмодулируется суммарным (или разностным)сигналом парного детектора.Контраст изображения в РИ. Зонд возбуждаетв области образца РИ всех его атомов.Если с помощью детектора выделить одну(аналитическую) линию спектра РИ какого-либо элемента и использовать ее интенсивностьпри сканировании для модуляции яркостисвечения экрана ЭЛТ, то получится картинараспределения этого элемента по площадисканирования. Разрешение такого изображениясоставляет 0,5.
