Апрель 15th, 2013
У-двигатели 7, управляющие сканированиемзонда в плоскости X Y объекта. На Z-двигатель7 подается напряжение U z = / ( / т ) обратнойсвязи, и двигатель начинает перемещать зондпо нормали к поверхности объекта до тех пор,пока туннельный ток / т цепи зонд — образецне будет стабилизирован на заданном уровне.Таким образом, изменение U z при сканированииповерхности, т.е. U z = f ( U x , U Y) ,будет количественно отражать характер изменениярельефа поверхности, т.е. z = f ( x , y ) .Для регистрации этих зависимостей используетсякомпьютер, обрабатывающий сигнал изаналого-цифрового преобразователя АЦП.74 Глава 1.2. МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫРис. 1.2.42. Структурная схема сканирующеготуннельного микроскопа:У — двигатели для перемещения зонда по осям X, У,Z; 2 — двигатель для перемещения объекта по оси Z;С/*, ?/у, t /z — напряжение, подаваемое на двигатели У;t/z — напряжение, подаваемое на двигатель 2 ;(У — разность потенциалов между зондом и объектом;У, — туннельный токЭто позволяет быстро менять параметрыэксперимента, проводить математическуюобработку трехмерного массива данных, запоминатьи выводить данные в различной форме.Сигнал на аналого-цифровой преобразовательпоступает из промежуточного усилителя, которыйслужит для усиления туннельного тока.Электронные устройства, используемые вСТМ, традиционны, и вся специфика приборав основном связана с конструкцией двигателейперемещения зонда и образца.К этим двигателям предъявляются жесткиеи отчасти противоречивые требования. Во-и отчасти противоречивые требования. Во-
