Апрель 15th, 2013
первых, они должны обеспечивать, по возможности,большие перемещения при высокойжесткости устройства, что необходимо длязащиты СТМ от механических вибраций. Поэтомуони должны обладать высокими частотамисобственных механических колебаний,что желательно также и для обеспечения быстродействия.Во-вторых, задаваемые перемещениядолжны быть воспроизводимы и, по возможности,линейно зависеть от управляющегонапряжения.В-третьих, учитывая, что даже в термоскомпенсированнойконструкции локальныеисточники тепла приводят к изменению температурыпо направлению (появлению градиентатемператур) и вызывают искажения линейныхразмеров деталей конструкции микроскопа,необходимо уменьшать мощностьуправляющих сигналов.Этим требованиям наиболее полно удовлетворяютдвигатели из пьезокерамики, обладающейвысоким коэффициентом преобразованияэлектрической энергии в механическую(до 40 %).Технические возможности сканирующеготуннельного микроскопа. Основнымитехническими характеристиками СТМ являютсяразрешение по нормали к исследуемой поверхностиобъекта и разрешение в плоскостиХУ.Высокое разрешение СТМ по нормали кповерхности ( Az <0,01 нм) определяется крутойэкспоненциальной зависимостью силытуннельного тока от расстояния между объектоми зондом [см. формулы (1.2.4) и (1.2.5)], ав плоскости X Y объекта — диаметром пучкаэлектронов (см. рис. 1.2.41), т.е. прежде всего -качеством острия зонда и шагом сканированияв этой плоскости.Для вольфрамовых зондов, используятехнологию химического полирования, можносформировать на конце острия лишь один атомсформировать на конце острия лишь один атом
