Апрель 15th, 2013
и при многократном прохождении зонда с шагомсканирования примерно 0,02 нм достигнутьразрешения около 0,03 нм (размеры атомов)в плоскости X Y объекта.Реальное разрешение СТМ зависит отряда факторов, основными из которых являютсявнешние вибрации, акустические шумы икачество приготовления зондов.В обычных (не виброзащищенных) лабораторныхпомещениях при использовании вкачестве зондов платиновых игл легко реализуетсяуровень разрешения в 1 нм по плоскостиX Y и 0,5 нм по высотам рельефа образца.Помимо разрешения микроскопа еговажной характеристикой является полезноеувеличениеN = d r/ d M, (1.2.7)где d v = 0,2 мм — разрешение глаза; d M == 0,03 нм — максимальное разрешение микроскопав плоскости XY.Для СТМ теоретическое полезное увеличениесоставляет около 7 млн раз (для сравнения:у светового микроскопа — 1000 раз).СКАНИРУЮЩАЯ ТУННЕЛЬНАЯ МИКРОСКОПИЯ 75Другие важные характеристики СТМ -максимальный размер поля сканирования вплоскости X Y и максимальное перемещениезонда по нормали к поверхности. Первые конструкцииСТМ имели очень малое поле сканирования(не более 1×1 мкм). У современныхСТМ эта характеристика на два порядка выше.Технические возможности СТМ могутбыть существенно расширены. С этой цельюпроводят энергетический анализ туннелирующихэлектронов, т.е. получают спектральнуюзависимость туннельного тока.Туннелирование электронов происходитс занятых энергетических уровней атомов,расположенных на острие иглы, на свободныеэнергетические уровни атомов на поверхностиобъекта (при обратной полярности потенциалаобъекта (при обратной полярности потенциала
