Апрель 15th, 2013
1.2.55, а — г .Расчет электронограмм, представленныхна рис. 1.2.55, а и б, показал, что образцы покрытысоответственно диоксидом титана ТЮ2и оксидом рения Re2Os; а на рис. 1.2.55, в — чтоиттрий полностью окислился до полутораок-сида У20з и что на рис. 1.2.55, г пленка представляетсобой иттрий-алюминиевый оксидY3A150 12.ЭЛЕКТРОНОГРАФИЯ 91Рис. 1.2.54. Схема расположения образца при съемке электронограмм «на просвет* (а) и»на отражение» (б). Стрелками показаны направления первичного (7) и дифрагированного (/) пучков,а также направления возможных перемещений образцаг)Рис. 1.2.55. Электронограммы:а — от поверхности массивного образца титана, окисленного при 600 °С на воздухе в течение 25 ч (съемка «наотражение»); б — от поверхности окисленного на воздухе массивного образца рения (съемка «на отражение»);в — от тонкой (около 50 нм) пленки иттрия, окисленной на воздухе при 600 °С (съемка «на просвет»);г — от двухслойной иттрий-алюминиевой тонкой (около 60 нм) пленки, окисленной на воздухеТехника проведения электронографическогофазового анализа наиболее проста дляэлектронограмм с резкими дифракционнымикольцами. Прежде всего определяют постояннуюприбора XL по формулегде L — расстояние от объекта до фотопластины,мм; D — диаметр дифракционного кольца, мм; d- соответствующее этому кольцу межплоскост— соответствующее этому кольцу межплоскост-
