Апрель 15th, 2013
базирующимися на взаимодействии первичногоизлучения (рентгеновского, электронного,ионного и др.) с изучаемым объектом и анализевторичного или рассеянного излучения.Таких методов исследования поверхностиизвестно в настоящее время более пятидесяти.Из них набольшее распространение получилиэлектронная Оже-спектрос копия(ЭОС), рентгеновская фотоэлектронная спектроскопияи масс-спектрометрия вторичныхионов.В ыпускаемые в настоящее время промышленностьюдля этих целей анализаторыпредставляют собой приборы, позволяющиеиспользовать несколько методов, например,Оже-спектроскопию и дифракцию медленныхэлектронов, фотоэлектронную спектроскопиюи масс-спектромстрию вторичных ионов(ADES 400, SIMSLAB, ESCALAB, SOLARSYSTEM 300 английской фирмы VACUUMGENERATORS, LAS 3000, LAS 2000, LAS 600французской фирмы RIBER; LH 10 SAM, LH 10немецкой фирмы LEYBOLD HEPEAUS;JAMP-10, JAMP-10S, J AMP-30 японской фирмыJE01; PHI 5000, PHI 4300 американскойфирмы Physical Electronic Industries и др.).Электронная Оже-снектроскония. Этотметод позволяет исследовать элементный составповерхности твердого тела и приповерхностныхслоев толщиной 0,5…3,0 нм со среднейчувствительностью к содержанию элементовоколо 0,1 % (ат.). Метод основан на измеренииэнергии и количества Ожс-электронов,образующихся вследствие бомбардировкиповерхности анализируемых объектов электроннымповерхности анализируемых объектов электронным
