Апрель 15th, 2013
зондом. Выход Оже-электронов ввакуум является результатом выбивания электроновиз внутренних электронных оболочек.При бомбардировке поверхности электронамис энергией, достаточной для ионизацииодной из внутренних оболочек атома, образуетсяпервичная вакансия, заполняющаясяза 10“14... 10“16 с электроном, перешедшим извнешней оболочки атома, в результате чегообразуется вторичная вакансия. Возникающаяизбыточная энергия расходуется либо на радиационныйпереход (испускание кванта рентгеновскогоизлучения), либо на безизлучатель-ный Ожс-переход (передается электронувнешней оболочки атома). Этот электрон эмитируетсяв вакуум и регистрируется как Оже-элсктрон (рис. 1.2.57). Вероятность его выходазависит от порядкового номера Z атомов анализируемогоматериала.Вероятность радиационного перехода возрастаетс повышением Z (пропорционально Z 4),а вероятность Оже-перехода уменьшается (длялегких элементов эта вероятность составляетоколо 95 %, а для элементов с Z < 70 — не более10 %). Энергии Ожс-персходов, определяющиесянабором энергетических уровней в атоме,являются характеристикой материала и не зависятот энергии первичного пучка. На рис. 1.2.58приведены энергии наиболее интенсивных Оже-пиков для различных элементов.Имеются эмпирические формулы вычисленияэнергии электронов ЕА. Хотя расчетныеи экспериментальные значения ЕА различаютсяи экспериментальные значения ЕА различаются
