Апрель 15th, 2013
слое (0). Время бомбардировки ионами аргона Аг+, мин:У — 0 ; 2 — 5; 3 — 18 \ 4 — 130ЭЛЕКТРОННАЯ И РЕНТГЕНОВСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ 95Рис. 1.2.60. Оже-спектры поверхностивысокотемпературного сверхпроводящеговисмутового керамического покрытия на серебре(верхний спектр — исходное покрытие,нижний — после бомбардировки ионамиаргона Аг+ в течение 5 мин)На рис. 1.2.60 представлены типичныеОже-спектры от поверхностных слоев керамическогопокрытия на серебре, полученные наОже-спсктрометре с четырехсеточным полусферическиманализатором, схема которогопредставлена на рис. 1.2.61.Распределение элементов на поверхностиматериала определяется с помощью сканированияповерхности пучком электронов с диаметром0,03…300 мкм при одновременнойрегистрации Оже-пиков. Совмещение сканированияс бомбардировкой позволяет получатькартину распределения элементов на поверхностии профиль распределения их по глубине.ЭОС позволяет получать не только качественный,но и количественный анализ химическогосостава посредством установлениязависимости тока Оже-электронов или амплитудыОже-пиков анализируемого элемента отконцентрации его в поверхностной зоне расчетнымпутем либо сравнения амплитудыРис. 1.2.61. Схема полусферического анализаторас нормальным падением пучка первичныхэлектронов:1 — электронная пушка; 2 — коллектор;3 — 6 — полусферические сетки; 7 — образец3 — 6 — полусферические сетки; 7 — образец
