Апрель 15th, 2013
Оже-пиков анализируемого элемента с построениемградуировочных кривых. Абсолютнаяпогрешность расчетных способов колеблетсяв широком диапазоне 10...50 %. Эмпирическиеспособы позволяют получать точностьколичественного анализа около 5_10 %.Особенностью ЭОС является чувствительностьОже-перехода к химической природевзаимодействия анализируемых элементовна поверхности или в приповерхностных слояхматериала, отражающегося на Оже-спсктрах ввиде химических сдвигов и(или) измененииформы Оже-пиков и появлении новых пиков,соответствующих Оже-персходам между внутреннимиоболочками и валентной зоной. ЭОСпоэтому широко используется для изученияэлектронной структуры поверхности и адсорбированныхслоев.ЭОС применяется для изучения адсорбции,десорбции, эпитаксиального роста тонкихпленок, катализа, окисления, трения, износа,диффузии примесей из объема к поверхности,миграции атомов на поверхность, определенияизменения физико-химического состоянияповерхности при электронной и ионной бомбардировке,сегрегаций примесей на границахзерен при термообработке.Конструкции Оже-спектромстров разнообразны.Структурная схема Оже-спектометрапредставлена на рис. 1.2.62. Схема цилиндрическогозеркального анализатора и структураясхема Оже-спсктрометра с таким анализаторомприведены соответственно на рис. 1.2.63 и1.2.64.Простейший Оже-спсктрометр состоит изПростейший Оже-спсктрометр состоит из
