Апрель 15th, 2013
0,2 %) для энергийанализируемых Оже-электронов 150...2300 эВ.Возможности Оже-спектрометров значительновозрастают при использовании ЭВМ, исовременные анализаторы снабжены системамиавтоматизации с применением ЭВМ, сопряженныхс центральной ЭВМ, или на баземикропроцессоров. Автоматизированы нетолько обработка данных, но и управлениеэкспериментом.ЭОС наиболее широко используется дляанализа поверхности в материаловедении,металлургии, химии, полупроводниковой техникеблагодаря возможностям его сочетания сдругими методами спектроскопии, послойногоанализа при ионной бомбардировке, высокойлокальности, обеспечивающей получение картинраспределения химических элементов вмикрообъемах.Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия(РФЭС), называемая также электроннойспектроскопией для химического анализа(ЭСХА), базируется на явлении внешнегофотоэффекта (эмиссии электронов твердымителами под действием электромагнитного излучения)и заключается в определении работывыхода электрона. Количественной характеристикойфотоэлектронной спектроскопии являетсячисло фотоэлектронов, приходящихся наодин падающий квант, которое определяетсясвойствами твердого тела и длиной волны(энергией)излучения.ЭЛЕКТРОНОГРАФИЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ И РЕНТГЕНОВКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ 97Метод состоит в получении фотоэлектронныхспектров (энергораспредслсния) фотоэлектронов,спектров (энергораспредслсния) фотоэлектронов,
