следствием, например, процесса разрушенияв результате

следствием, например, процесса разрушенияв результате коррозии под напряжениемили развития трещины по границам зерен врезультате ползучести. Оба процесса сопровождаютсяформированием продуктов окисленияна образуемой поверхности излома, которыене только заряжаются, но около них трудно, ав некоторых случая невозможно, создать высокийвакуум. Поэтому в современных РЭМпредусмотрен низковакуумный режим работы.Он позволяет эффективно исследовать морфологиютаких объектов без дополнительногонанесения на их поверхность тонкого слояэлектропроводящего вещества, обеспечивающегопросмотр объекта без накапливанияэлектронов на его поверхности.Растровые электронные микроскопы позволяютдостигать разрешения 3 нм (0,003 мкм)независимо от типа используемого катода. Приуказанном уровне разрешения удается на наблюдаемомрельефе поверхности отчетливоразличать и проводить количественные измеренияпараметров (например, усталостныхбороздок) непосредственно по экрану видеомонитора,расстояние между которыми составляетне менее 1 0 нм.Исследование поверхности излома в режимевторичных электронов позволяет восстанавливатьтретью координату, что связано сполучением стереоскопического изображенияучастка излома. Его реализуют путем совмещениядвух фотографий зоны излома. Их получаютс одинаковым увеличением при двухуглах наклона излома и обрабатывают с использованиемуглах наклона излома и обрабатывают с использованием