Май 10th, 2013
гетерогенных материалов с ошибкой менее1 %. Существуют специальные приемы, которыепозволяют успешно применять РФС в качественеразрушающего метода для количественногоанализа химического состава гомогенныхобразцов. Данные о химическом составе получают,сопоставляя интенсивности характеристическихлиний каждого элемента, используяэталоны чистых веществ, градуировочные графики,вводя поправки на упругое рассеяние ипоглощение. В том случае, когда исследуетсяхимический состав тонких микронеоднородностейна поверхности, соизмеримых или меньшихглубины выхода фотоэлектронов, необходимоучитывать влияние матрицы.Построение глубинных профилей являетсяодним из наиболее распространенных методовколичественного анализа поверхности.В этом случае применяют ионное травление,которое чередуют со съемкой электронныхспектров, получая их набор для различныхглубин. Информация в компьютере преобразуетсяв графики изменения концентрации различныхэлементов в зависимости от глубиныили расстояния от поверхности. В рентгено-элсктронной спектроскопии наряду с даннымио химическом составе получают сведения оприроде химических связей, поэтому важнапроблема предохранения поверхности от деструкции.Ионное травление вызывает эффектыселективного травления, ионной имплантациии ионно-стимулированной десорбции, чтовлияет на достоверность получаемой информации.влияет на достоверность получаемой информации.
