Май 10th, 2013
другими методами анализа химического состава.Основное и неоспоримое преимуществоуказанного метода над другими — в его высокойобъемной чувствительности. Метод ОЭС,как и многие методы электронной спектроскопии,позволяет анализировать тончайшие слоина поверхности материалов толщиной в несколькоатомов, что недоступно другим методамхимического, радиоизотопного и спектральногоанализа.Ill Глава 8.2. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ИЗЛОМ ОВd N / d EЭнергия электрон ов, э ВРис. 8.2.13. Оже-спектр хромаДля образцов гомогенного состава атомнуюконцентрацию определяют с учетом фактораотносительной элементной чувствительностиSp используя эталонные Оже-спектрыдля чистых компонентов. При этом пренебрегаютвлиянием матричных эффектов:где Cj — концентрация элемента, ат. %; 7, -интенсивность характеристической линии наспектре для у-го компонента.Зависимость фактора S от атомного номераэлементов приведена в стандартных таблицахили определяется с помощью эталонныхспектров от чистых веществ. Это соотношениепозволяет определять содержание многих элементовв многокомпонентных сплавах и соединениях.Исключение составляют элементыномеров 25, 26, 45, 46 периодической системы,для которых замечено аномальное изменениеплотности при ионной бомбардировке. Точностьтакого метода выше 30 %. Определениехимического состава тончайших поверхностныххимического состава тончайших поверхностных
