Июнь 18th, 2013
Затем Ханак из RCA разработал метод газофазного осаждения [87]. Газообразные хлориды получают порознь, пропуская хлор над металлическими Nb и Sn, нагретыми до 800—900 °С. Пары хлоридов подают в реакционные камеры со встречным потоком водорода. Нагрев камеры до 700 °С исключает возможность конденсации хлоридов. Через камеру протягивается разогретая током до 1000 °С подложка в виде ленты, изготовленной из ниобия, нержавеющей стали или хастеллоя. При этой температуре водород восстанавливает хлориды и на ленте осаждается Nb3Sn. В поток водорода вводят пары НС1, чтобы подавить образование NbCl3, который при 700 °С находится в твердом состоянии и может блокировать камеру. Толщина покрытия, регулируемая скоростью прохождения подложки через камеру, может достигать 1 мкм. Стабилизацию медью или серебром можно осуществлять как гальваническим способом, так и подпайкой медной ленты к любой стороне проводника. Подложка из нержавеющей стали позволяет обеспечить требуемую механическую прочность. Плотности тока могут быть повышены введением добавок в реагирующие газы [63, 88, 111].Материал подложки выбирается с таким расчетом, чтобы его коэффициент теплового расширения был больше, чем у соединения; это гарантирует, что при охлаждении слой NbsSn будет сжат и при этом будет иметь меньшую тенденцию к растрескиванию. Одно время полагали, что предварительно подложку следует покрывать платиной для получения тонкого слоя NbsPt, способствующего лучшему сцеплению соединения с подложкой. Теперь установлено, что такая дорогая операция не является необходимой.
