Июнь 18th, 2013
Он состоит из основного электрода М2, который отделен от противолежащего электрода Мъ слоем естественного окисла желаемой толщины, полученного по методу радиочастотного окисления [11]. Поверх образованного таким образом контактаУправляющая шит (М<+)Рис. 8. Конфигурация туннельного элемента.проходит изолированная от него управляющая шина МА. Вся конструкция собирается на изолированной сверхпроводящей подложке. Материалом подложки служит ниобий, а изоляцией — слой ЫЬгОб, образованный методом жидкостного анодирования. Электроды, образующие контакт, управляющую и соединительные шины, изготавливают вакуумным напылением свинцового сплава. Необходимая геометрия в каждом слое достигается за счет применения фотогальванической методики. Помимо самого вентильного элемента, указанная технология включает изготовление изолированных друг от друга пересечений, сверхпроводящих контактов и оконечных резисторов для применения в логических цепях. Все это более подробно описано в работе Грейнера и др. [10]. На рис. 9 приведена фотография вентиля (геометрия та же, что и на рис. 8). Ширина шин составляет несколько сотых миллиметра.Реальные вольт-амперные характеристики туннельного контакта изображены на рис. 10. Указаны основные параметры элемента: Макс, напряжение, соответствующее энергетической щели, и сопротивление контакта в области, лежащей ниже щели.Указано также сопротивление контакта в том- случае, когда оба электрода находятся в нормальном состоянии. И наконец, на рисунке обозначен ток МИн, при котором контакт возвращается в состояние с нулевым напряжением.
