Февраль 26th, 2013
Изображение в лучах поглощенных электронов позволяет судить о качественном составе образца; изображение в лучах отраженных электронов дает сведения главным образом о рельефе шлифа. Изображение в рентгеновских лучах позволяет судить о распределении химического элемента по поверхности образца.Анализируемый участок образца выбирают с помощью микроскопа с 400-кратным увеличением. Минимальный достоверно анали-зируемый участок 10 мк2. В качестве эталонов используют полиро-ванные образцы химически чистых элементов. Различие состава эталонов и образцов учитывают рядом поправок к измеренной велнчине содержания элемента. Вводят поправки на поглощение, на атомный номер, на флуоресценцию и на различную степень отра-жения и торможения электронов атомами образца и эталона. Поправка на поглощение, связанная с тем, что различные химические элементы в неодинаковой степени ослабляют рентгеновское излучение, наиболее существенна. Ее величина находится в пределах 0,9-3,0. Остальные поправки колеблются от 0,8 до 1,2. Точность количественного анализа после введения всех поправок обычно находится в пределах от 1 до 10 % и зависит, в частности, от полировки образца и эталонов (выступы микрорельефа по-разному экранируют рентгеновское излучение).Анализируемый участок образца выбирают с помощью микроскопа с 400-кратным увеличением. Минимальный достоверно анали-зируемый участок 10 мк2. В качестве эталонов используют полиро-ванные образцы химически чистых элементов. Различие состава эталонов и образцов учитывают рядом поправок к измеренной велнчине содержания элемента.
