Апрель 15th, 2013
1 — электронная пушка; 2 — электронныйумножитель; 3 — синхронный детектор; 4 — генераторсинусоидального напряжения;5 — двухкоординатный самопишущий потенциометр;6 — генератор пилообразного напряженияпосредством пропускания элементов с энергией,соответствующей Оже-переходу данногохимического элемента через энергоанализатор.Площадь сканирования не более 0,5×0,5 мм2.Анализаторы для послойного анализаснабжаются ионными пушками, состоящимииз источника ионов с внешним магнитнымконцентратором, системы вытягивания ифокусировки, системы отклонения ионногопучка.Р азностные Оже-спсктрометры предназначеныдля измерений в низкоэнергстическойобласти Оже-спектра, где для дифференциальнойкривой энсргораспределения характеренбольшой наклон, что снижает чувствительностьанализа. Такие спектрометры работаютс попеременным отклонением пучка наэталон и анализируемый образец. Получаемыйв результате вычитания Оже-пиков отэтих двух объектов разностный сигнал соответствуетмасс, доле примеси большей, чем еемасс. доля.Двухканальные Оже-спсктрометры используютсядля компенсации фона вторичныхэлектронов. При этом, если фон описываетсялинейной функцией, то он компенсируется полностью,если нелинейной, — то сглаживается.Призменные Оже-спектрометры (с призменнымиэнергоанализаторами) обладаютэнергоразрешением (0,1…
