Апрель 15th, 2013
на 5... 10 эВ, достижимая экспериментальноточность измерения их энергии достаточна дляопределения химической природы элементов.Спектры Оже-электронов зарегистрированыдля всех элементов Периодической системыэлементов Д.И. Менделеева, кроме водородаи гелия, не образующих Оже-электронов.Значения Е А для различных элементов располагаютсяв широком интервале от несколькихэлектронвольт до сотен элсктронвольт.Количественная электронная Ожс-спект-роскопия (ЭОС) базируется на предположениио пропорциональности числа эмитированныхОже-электронов числу атомов, участвующих вОже-переходе. В простейших случаях эта зависимостьлинейная, но вообще сложнаяэлектрон К — оболочкаРис. 1.2.57. Схема Оже-процесса в атоме(образование KLL-Оже-электронов):Е — энергия электронов на уровнях Li, К94 Глава 1.2. МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫРис. 1.2.58. Взаимосвязь энергии наиболееинтенсивных Оже-пиков и атомного номераэлемента для уровней MNN, LMM и KLLвследствие влияния множества физических иаппаратурных факторов на ток Ожс- электронов.ЭОС дает возможность идентифицироватьпо энергиям Оже-электронов элементы сатомным номером Z > 2 и используется преждевсего для анализа химического состава поверхностныхслоев материалов толщиной 2…4атомных слоя. ЭОС позволяет обнаружитьпримерно 10″2 монослойного покрытия постороннимипримерно 10″2 монослойного покрытия посторонними
