Апрель 15th, 2013
атомами. Абсолютная чувствительностьметода составляет около 10″14 г, а относительнаячувствительность по примесям объемногопроисхождения около 10-3.Для получения информации о распределенииэлементов в приповерхностной областитолщиной до 2 нм строят профили распределения.Для анализа распределения элементов втолстых (2…200 нм) слоях регистрируют Оже-спектры по мерс удаления поверхностных слоевионной бомбардировкой инертными газамис энергиями пучка от нескольких сотен элек-тронвольт до нескольких килоэлектронвольтпри плотности тока в пучке 1…20 мкА/см2 искорости распыления около 0,1 мм/мин.На рис. 1.2.59 приведены Оже-спектры отповерхностных слоев коррозионно-стойкойстали, испытанной в кипящей серной кислоте.Из спектров, приведенных на рис. 1.2.59, а,можно определить изменение концентрацийосновных компонентов стали, а также серы,кислорода и углерода по глубине (0…70Д) нм).Анализ низкоэнергстичсских пиков никеля,хрома и железа (рис. 1.2.59, 6) позволяет судитьо связи их с кислородом: хром находится в окисленномсостоянии (энергии пиков 31 и 45 эВ) какна поверхности (спектр 1), так и на глубине10,0 нм (спектр 2), а на глубине 250,0 нм — он вметаллическом состоянии (спектр 4).Рис. 1.2.59. Оже-спектры поверхностных слоев стали 12Х18Н10Т после выдержки в кипящей сернойкислоте (а) и изменение формы низкоэнергетических Оже-пиков хрома и никеля в поверхностномкислоте (а) и изменение формы низкоэнергетических Оже-пиков хрома и никеля в поверхностном
