Апрель 15th, 2013
покрытием толщиной h по сравнению с интенсивностьютого же рефлекса от подложки безпокрытия ( I hkl ):Маркастали А С п35 0,044 0,029 1,740Х 0,070 0,012 1,740ХН 0,055 0,029 1,5РЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ 89где ц п — линейный коэффициент ослаблениямонохроматического излучения в покрытии;h — толщина покрытия; к = (l/sin а + l/sin 8) -геометрический параметр. Варьируя угол а(или 8, так как а + 8 = 20 ), можно добитьсятого, чтобы интенсивность отражения H KL отподложки стала равной интенсивности фона.Пусть это произошло при а = а 0 • Тогда:А = 3 / ( и Л ) . (1-2.26)Выражение (1.2.26) можно использоватьдля измерения толщины покрытия, если в подложкенет ярко выраженной кристаллографическойтекстуры. При наличии текстуры вподложке толщину покрытия можно измеритькак отношение интенсивностей двух порядковотражения, полученных от одной совокупностикристаллографических плоскостей {hkl}.Это отношение не зависит от текстуры. В этомслучае из (1.2.25) следует (для а = 8 = 0 О иотражений HKL и 2H2K2L, для которых(1.2.27)Рассчитав h n K i l h w i K i i (по форму-лам кинематической теории рассеяния рентгеновскихлучей) или определив это отношениеэкспериментально для подложки без покрытияпри тех же параметрах съемки, можно по измереннойвеличине D найти из (1.2.27) толщинупокрытия h.В некоторых случаях необходимо определитьВ некоторых случаях необходимо определить
