Апрель 15th, 2013
сверхвысоковакуумной (давление не более1,33-10-8 Па) камеры с электронной пушкой,энергоанализатора, системы регистрации. Современныеприборы дополнены манипуляторамидля крепления и юстировки образца, системамиионной бомбардировки и термическойочистки поверхности образца и шлюзования,приспособлениями для ломания или сколаобразцов в вакууме.В растровых Оже-спектрометрах используетсяустройство сканирования электронногопучка по поверхности. Такие анализаторы позволяют:1) на экранах электронно-лучевыхтрубок визуально наблюдать топографию поверхностив поглощенных электронах для металлическихобразцов или за счет тока наведеннойпроводимости — для полупроводниковыхматериалов; 2) изучать распределениекакого-либо элемента по поверхности образца96 Глава 1.2. МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРЫРис. 1.2.62. Структурная схемаОже-спектрометра:1 — образец; 2 — электронная пушка;3 — энергоанализатор; 4 — вторично-электронныйумножитель; 5 — предусилитель; 6 — синхронныйдетектор; 7 — осциллограф; 8 — самописецРис. 1.2.63. Схема цилиндрического зеркальногоанализатора:1 — образец; 2 — внутренний цилиндр; 3 — внешнийцилиндр; 4 — входная щель; 5 — электронная пушка;6 — выходная щель; 7 — выходная диафрагма;8 — коллекторРис. 1.2.64. Струкгурная схема Оже-спектрометрас цилиндрическим зеркальным анализатором:с цилиндрическим зеркальным анализатором:
