Избыток хлора приводит к разрушению насыщае мого металла

Избыток хлора приводит к разрушению насыщае мого металла. Оптимальная концентрация хлора в реакционной камере составляет 1—2 мл на 1 см2 поверхности насыщаемого металла. Засыпка деталей ферросилицием или карбидом кремния необязательна. Неконтактное расположение изделий и ферросилиция или карбида кремния позволяет получать слои с удовлетворительной шероховатостью поверхности, однако в этом случае толщина их меньше, а неравномерность больше, чем при контактном способе [7]. Слои большой толщины были получены при использовании ферросилиция и пропускании через реакционную камеру хлора.Способ газового силицирования в среде моносилана SiH4 предложен в работе [156, с. 28). Моносилан получали в специальной установке путем диспропорцио-нирования триэтоксилана [SiH(OC2HB)3] в присутствии металлического натрия:Образующийся в процессе реакции моносилан поступал в смеситель, где смешивался с газом-разбавителем. В качестве газов-разбавителей использовали водород, азот, аргон и диссоциированный аммиак. Полученная смесь поступала в печь для силицирования, а неразложившийся моносилан — во вторую печь для окончательного разложения. Нагрев образцов до температуры силицирования производили в токе азота.Образование большого количества аморфного кремния на поверхности образцов и в печи в случае использования чистого моносилана приводит к засорению системы, что свидетельствует о высокой активности примененного для насыщения газа [156, с. 28]. Применение указанных газов-разбавителей позволило уменьшить количество кремния, образующегося в печи для силицирования, и получить плотные беспористые слои кремнистого феррита на стали 20 при 1100—1200°С в течение 3—5 ч.