Апрель 15th, 2013
изменения среды (атмосферы) и т.п.Формирование изображения в РЭМ(типы контраста). Наиболее часто для формированияизображения объекта используют электроны(собственно РЭМ) и характеристическоерентгеновское излучение (РЭМ с рентгеноспектральныманализом, см. подразд. 1.1.3.4).В облучаемом зондом объеме образца образуютсявторичные и Оже-электроны. Их энергиясоставляет всего десятки электрон-вольт,поэтому размер области их выхода почти совпадаетс диаметром зонда (см. рис. 1.2.34).Кроме того, часть электронов зонда упруго(или с малой потерей энергии) рассеиваетсяядрами атомов образца по всем направлениям,в том числе и обратно — это «отраженные»электроны (ОЭ). Их энергия близка кэнергии электронов зонда, т.е. составляет десяткикилоэлектронвольт. Размер области ихвыхода примерно на порядок больше диаметразонда (см. рис. 1.2.34). Поглощенные электронысоздают в образце ток, который также регистрируется.Электроны зонда возбуждают характеристическоерентгеновское излучение атомов вобъеме образца диаметром около 0,5 мкм.Контраст изображения в ВЭ. Число выходящихиз облучаемого зондом участка образцавторичных (и отраженных) электроновопределяется углом, который зонд составляет споверхностью. Изменения этого угла на 1…2°* С учетом флуоресцентного возбуждения характеристическогорентгеновского излучения тормозным(сплошным) спектром этот объем еще возрастает.достаточно для заметного изменения числавыходящих электронов. Следовательно, яркостьизображения, создаваемого сигналомдетектора электронов, определяется рельефомдетектора электронов, определяется рельефом
