Апрель 15th, 2013
объектов возможно, если не допуститьобразования описанного выше заряда поверхности.Это можно осуществить тремя способами:1) нанести на поверхность тонкое(10...50 нм) проводящее покрытие из С, Аи,Al, Pd и л и Ni термическим или катодным распылениемв вакууме;2) проводить наблюдение при малом ускоряющемнапряжении (около 1 кВ). При такомнизком напряжении, однако, параметрыРЭМ существенно ухудшаются, так как снижаетсяэлектронная яркость источника;3) использовать однокадровую экспозицию- исследуемое поле зрения (выбранное,например, с помощью светового микроскопа)сканируется один раз, а сигнал записываетсяна экране запоминающей ЭЛТ или в компьютере.Затем зонд убирается с объекта. Обычнопервый проход зонда является удовлетворительным,так как при этом поверхностныйзаряд только формируется. Через несколькоминут заряд «стекает», и можно снимать следующийкадр. В большинстве случаев приэтом способе не удается набрать необходимогодля элементного анализа числа рентгеновскихквантов.Второй и третий из описанных приемовпозволяют анализировать непроводящие объектыбез напыления поверхности. Все три методаможно использовать при изучении пластмасс.Однако, следует иметь в виду, что последние,из-за плохого отвода энергии пучкаэлектронов, могут нагреваться выше температурыплавления и распыляться. Поэтому болеепредпочтителен метод напыления пластмасспроводящей пленкой с одновременнымуменьшением силы тока зонда и ускоряющегонапряжения (до 10… 15 кВ).Электронная обработка сигналов,формирующих изображение в РЭМ.
