Апрель 15th, 2013
(Z = 4) (в некоторых приборах от Li) доурана (Z = 92).Локальность анализа определяется размеромтого объема образца, в котором возбуждаетсяРИ. Она отчасти зависит от диаметразонда и энергии электронов, но в большей степениопределяется проникающей способностьюрентгеновских лучей и не может бытьменьше, чем 0,5... 1 мкм. Поэтому применениедля МАР зонда диаметром менее 0,2…0,5 мкмнецелесообразно, так как такой зонд, не изменяяпрактически локальность, лишь снижаетинтенсивность возбуждаемого РИ.Чувствительность анализа зависит отатомного номера Z определяемого элемента исоставляет 1… 10 % (масс, доля) для элементовс Z < 8 и сотые доли процента (масс, доля) дляэлементов с Z > 12.Погрешность количественного анализатакже зависит от атомного номера определяемогоэлемента и равна обычно 1…5 % относительныхдля элементов с Z > 10. Для более легкихэлементов точность в несколько раз ниже.Хотя локальность анализа около 1 мкм,общепризнанно, что диаметр анализируемыхвключений (частиц фазы) для достоверногоопределения их химического состава долженбыть не менее 3…5 мкм.Длины волн рентгеновских спектров, покоторым проводят анализ, практически не зависятот степени ионизации атомов. ПоэтомуМАР позволяет проводить только элементныйанализ, не определяя, в каком виде этот элементприсутствует в образце.Конструкция МАР. Принципиальнаясхема прибора была предложена в конце 40-хгодов независимо И.Б. Боровским (СССР) иР. Кастеном (Франция). Все промышленновыпускаемые в настоящее время установкисостоят из трех основных частей:состоят из трех основных частей:
