Май 10th, 2013
уровней атомов под действием потокаэлектронов наблюдается в случае четырехкратногопревышения энергии первичныхэлектронов над энергией связи в атоме. Наэлектронных спектрах наблюдается несколькосерий Ожс-линий. AXL-линии обнаруживаютсядля элементов, начиная с В . МногиеОже-линии являются слабыми и размытыми ипо этой причине спектры представляют в видепервой производной d N (E ) / d (E ) (рис. 8.2.13).Количественный анализ в ОЭС. Оцениваявозможности ОЭС, как и других методов электроннойспектроскопии при проведении количественногоанализа химического состава,необходимо отметить, что существует многофакторов, которые снижают его точность ивоспроизводимость результатов. Этот метод неявляется стандартным, и его результаты трудносопоставить со стандартными методамихимического анализа. Фундаментальные ограниченияметода связаны с анализом образцовгетерогенного состава. Для таких объектовэмиссия электронов является неизотропной,что на практике очень трудно оценить. Другимисточником разброса данных является различиемежду экспериментальными (действительными)и расчетными значениями глубины выходаэлектронов. Эти различия достигают нередко36 %. На результаты количественногоанализа также оказывают влияние шероховатостьповерхности, дифракционные эффекты. Поэтим причинам ОЭС трудно конкурировать с
