Май 10th, 2013
высоким пространственным разрешением.Все методы электронной спектроскопииможно разделить на две группы. К первойгруппе относятся тс, в которых на поверхностьисследуемых образцов направляетсясфокусированный поток электронов, которыечастично упруго рассеиваются, а частичновозбуждают эмиссию вторичных электронов.В этом случае исследуются спектры упругорассеянныхили вторичных электронов. Средиэтих методов наиболее распространеннымиявляются: Оже-спектроскопия, спектроскопияхарактеристических потерь энергии электронов,в том числе спектроскопия плазмонныхпотерь и вибрационная спектроскопия. Развивающимсяметодом является анализ протяженнойтонкой структуры спектров потериэнергии электронов. Во второй группе методовэмиссия электронов с поверхности образцавозбуждается источниками фотонов (например,рентгеновским излучением рентгеновскихтрубок или синхротронными источниками).В этом случае исследуются вторичные электроны,которые вышли из атомов на поверхностив результате полного поглощения энергииквантов и фотоэффекта (один поглощенныйквант — один вышедший фотоэлектрон). Наэтом эффекте основана рентгеновская фотоэлектроннаяспектроскопия внешних и внутреннихоболочек атомов. Для исследованиянеобходим сверхглубокий вакуум, специальнаяподготовка поверхности образцов, исключающаяее случайное загрязнение.ее случайное загрязнение.
