Май 10th, 2013
высоты фотографирования и ошибок, изкоторых наиболее сильное влияние оказываетошибка тр разности продольных параллаксов.Поэтому в первом приближении можнопринять, чтоПрактика получения стереопар с помощьюэлектронных микроскопов и оценкапревышений рельефа поверхности. Получениестереоснимков (стереопар) в электронноммикроскопе чаще всего осуществляется путемповорота рассматриваемого объекта на уголконвергенции по отношению к оси прибора.Возможно также получение снимков стереопарыповоротом на угол конвергенции осветительнойсистемы, а не исследуемого объекта.Но так как во втором случае используется внеосеваячасть объектива, то достаточно резкоеизображение можно получать только для оченьмалых углов конвергенции. Известны такжеметоды получения стереопар в растровых(РЭМ) и просвечивающих (ПЭМ) электронныхмикроскопах при плоскопараллсльном смещенииобъекта или его вращении вокруг вертикальнойоси прибора и неизменном положенииисточника и центральной оси пучкаэлектронов.Наиболее распространенным из указанныхметодов является метод конвергентнойстереосъемки. Для уменьшения погрешностейпоследующей оценки превышений, связанныхс определением элементов ориентирования идеформацией стереоскопического изображениямодели микрорельефа, конвергентнуюсъемку стереопар как в ПЭМ, так и в РЭМстараются выполнять, наклоняя макроскопическуюстараются выполнять, наклоняя макроскопическую
